 |
|
Комплекс для обработки материалов с переключаемым источником излучения— гиротрон (15 кВт / 28 ГГц) или гиро-ЛОВ (2,5 кВт / 24±0,1 ГГц) |
|
Для совершенствования специализированных гиротронных комплексов, предназначенных для решения технологических задач, в ИПФ в 2007 году создан непрерывный гиротрон на второй гармонике гирочастоты с рекордным КПД 60 % при уровне выходной мощности 10 кВт. Достигнутое значение КПД обеспечивается использованием одноступенчатой рекуперации энергии и оптимизацией распределения продольного магнитного поля соленоида.
Другим важным результатом стало создание гиротрона с быстрой (2 кГц) ступенчатой перестройкой частоты излучения (порядка 2 %) за счет изменения магнитного поля в резонаторе путем включения дополнительного соленоида малой индуктивности. При фиксированной частоте генерируемого излучения в гиротроне возможна 100 % модуляция микроволновой мощности при изменении поля соленоида. Применение такого генератора перспективно для улучшения технологических характеристик процессов, основанных на использовании микроволнового излучения, например получения интенсивных пучков многозарядных ионов в ЭЦР и осаждения поликристаллического алмаза из газовой фазы разряда.