![]() |
![]() |
![]() |
|
![]() |
|
Микроволновое излучение в технологических процессах
В ИПФ разработаны и созданы специализированные гиротронные комплексы для технологических применений мощностью 3–15 кВт, работающие на частотах 24–30 ГГц. Их основой являются непрерывные гиротроны, работающие с использованием «теплых» соленоидов или постоянных магнитов. Уникальные по функциональным возможностям гиротронные комплексы поставлены в ведущие научные центры Японии, США, Германии, Китая, Франции.
Основное направление исследований в области плазмохимического осаждения алмазных пленок (лаборатория А. Л. Вихарева) связано с разработкой реакторов и условий поддержания плазмы с целью повышения скорости роста алмаза в сравнении со скоростью, достигнутой в существующих реакторах. Ведутся разработки технологии осаждения алмазных пленок в реакторе, работающем в импульсно-периодическом режиме. Разработан лабораторный вариант реактора для осаждения алмазных пленок в плазме, поддерживаемой излучением миллиметрового диапазона. Для создания и поддержания в смеси газов стабильного локализованного СВЧ-разряда, из которого осуществляется осаждение алмазных пленок, используются мощный гиротрон и оригинальная квазиоптическая зеркальная система, формирующая устойчивую конфигурацию пересекающихся волновых пучков. Высокая концентрация электронов в плазме такого реактора обеспечивает повышенную скорость наработки химически активных частиц и рекордные скорости роста оптических прозрачных поликристаллических алмазных плёнок и пластин. Проведение экспериментов по спеканию наноструктурированной керамики
на специализированном гиротронном комплексе
|
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||