Отделение физики плазмы и электроники больших мощностей
 
 
 
   

Отдел физики плазменных технологий


назад

СВЧ разряд в реакторе над комбинированной пластиной моно- и поликристаллического CVD алмаза в процессе сращивания, частота излучения 2.45 ГГц