ENGLISH
В 1995 году в ИПФ РАН была создана лаборатория физики СВЧ разряда, в 2009 году она была переименована в лабораторию физики СВЧ разряда и синтеза углеродных материалов, а в 2014 преобразована в отдел физики плазменных технологий, состоящий из двух лабораторий:
- Лаборатория алмазной электроники (зав.лаб. Вихарев А.Л, в.н.с., д.ф-м.н)
- Лаборатория физики СВЧ разряда (зав.лаб. Горбачёв А.М., с.н.с., к.ф-м.н.)
Основные направления исследований:
- Физика свободно локализованного СВЧ разряда в волновых пучках
- Плазмохимический синтез моно и поликристаллических алмазных плёнок из газовой фазы
- Разработка высокоскоростного метода осаждения поликристаллических алмазных плёнок в плазме высокой плотности, создаваемой СВЧ излучением миллиметрового диапазона длин волн
- Исследования физических свойств алмазных плёнок
- Синтез полупроводникового CVD алмаза
- Разработка устройств твердотельной электроники, акустоэлектроники, оптики на основе алмазных плёнок
- Лазерная резка и механическая обработка (шлифовка) алмазных материалов
- Разработка активных компрессоров СВЧ импульсов с распределенными плазменными переключателями
- Исследование условий возникновения и подавления мультипакторного разряда на поверхности диэлектриков
 |
 |
 |
 |
СВЧ разряд в двух пересекающихся волновых пучках,
частота излучения 40 ГГц |
СВЧ разряд в реакторе над комбинированной пластиной моно- и поликристаллического CVD алмаза в процессе сращивания, частота излучения 2.45 ГГц
|
Пластины поликристаллического CVD алмаза, шлифованная (d=50мм, h=1.5мм) и нешлифованная
(d=75мм, h=0.5мм)
|
Монокристаллический CVD алмазный слой на подложке из HPHT алмаза
|
Институт прикладной физики РАН,
Ульянова, 46, Бокс-120, Нижний Новгород, 603950
