Отделение физики плазмы и электроники больших мощностей
русский
english
Общая информация
Научные направления
Структура
Подготовка кадров
Инновационная деятельность
Научные связи
Конференции
Издания, публикации
Новости
Сотрудники
Контакты
home
Отделение физики плазмы и электроники больших мощностей
Отдел физики плазменных технологий
Об отделе
Установки
Публикации
Результаты
Сотрудники
English
назад
CVD реактор с эллипсоидальным СВЧ резонатором
